搜索结果: 1-15 共查到“知识库 理学 MEMS”相关记录34条 . 查询时间(0.046 秒)
针对滑动变阻器调零误差较大、不易用线性数值方法求解，提出了一种用于弹载测试仪的基于BFGS算法的自动调零方法。求解过程可以避开采用牛顿迭代法海森矩阵非正定的缺陷，保证较快的收敛速度，便于DSP快速的求解。DSP控制数字电位器精确调零，还可以消除长时间工作状态下由传感器温漂产生的缓慢累进系统误差。经过冲击实验、实弹模拟实验和数值分析，验证了此方法的可靠性。
针对MEMS惯性器件测量误差大，系统定位误差随时间累积问题，提出了一种动态零速修正与快速正交搜索相结合的融合导航算法，可对线性和非线性误差有效抑制。试验表明，与单独使用动态零速修正相比，该融合算法可以大大提高系统解算精度，在60 s惯性导航中，经补偿后的位置误差不大于0.95 m，实现了车载惯导系统低成本高精度自主导航。
强震观测中记录的加速度时程是城市大型建筑抗震设计的重要依据，为城市抗震设防提供可靠的数据支持。因此，对加速度计在稳定性、线性度、动态范围和直流响应等性能方面有着很高的要求。提出利用静电力反馈控制技术与传感器技术相结合形成闭环力平衡式MEMS加速度计，使之具有良好的低频特性。并采用四阶ΣΔ调制器完成低噪声信号采样，确保其动态范围高于140 dB，完全满足现有强震观测规范对该项指标的要求。
Comparison between low-cost and traditional MEMS accelerometers: a case study from the M7.1 Darfield, New Zealand, aftershock deployment
Seismology Instruments and techniques Ground Motion Seismic Risk
2015/8/27
Recent advances in micro-electro-mechanical systems (MEMS) sensing and distributed computing techniques have enabled the development of low-cost, rapidly deployed dense seismic networks. The Quake-Cat...
微腔角速度传感系统是新一代光学传感器的代表。提出一种面向角速度传感系统的微球腔，其中微球腔作为核心部件直径约为1mm，根据测量及相关公式计算，半高全宽为10.5MHz，自由谱宽65.89GHz，Q值1.84*107，精细度为6.26*103。微球腔特有的高Q值、高分辨率、制备简单等性能，使其具有长远的发展前景。本文详细介绍了整个系统的工作原理，并通过使用不同波形、不同频率的扫频及调制信号进行实验，...
现代电子战，为了具备更强的防御和进攻能力，对其中的射频器件提出了宽带指标的要求。本文以此为背景，在理论分析的基础上设计了一种应用于12.5~50GHz频带的超宽带双膜桥式MEMS开关，该开关具备低损耗、高隔离度等特点，文中给出了开关的制备工艺，并进行流水完成了芯片制备。经测试，该开关在设计频段内，回波损耗优于20dB，插入损耗典型值0.3dB@12.5~35GHz，优于0.5dB@45GHz，隔离...
新型三维MEMS矢量水听器的设计
矢量水听器 MEMS ANSYS 仿生
2014/4/18
根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求，提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器。该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息，采用ANSYS进行仿真，静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5KHz左右；驻波桶校准测试结果表明：该水听器的灵敏度范围在-200dB到-180dB左右；在25Hz-2000Hz频段内具有良好的频响特性；指向性...
提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器，该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作“H”型谐振梁，并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析，利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构，并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术，实现了传感器的圆片级真空封装。采用开环扫描检测和闭环自激振荡方式，测定压力传感器的特性。实验结果表...
两种结构MEMS磁场传感器的研究
磁场传感器 MEMS 洛仑兹力 谐振
2014/4/22
本文研究了两种结构的谐振式磁场传感器，检测在磁场作用下梁的振动幅度，来实现磁场的测量。首先介绍了传感器的工作原理，并用振动理论对传感器的受力及响应进行了分析，接着用有限元软件建立结构模型，对振动幅度进行了仿真。该MEMS磁场传感器采用标准的CMOS工艺加上后处理来实现。最后用多普勒仪对传感器的振动幅度进行测试，实验结果与理论分析一致，并对两种传感器性能进行比较。所研究的两种传感器结构简单，测试方便...
MEMS仿生矢量水听器封装结构的设计与研究
矢量水听器 封装 ANSYS Virtual.lab acoustic 仿生
2014/4/22
针对MEMS仿鱼侧线矢量水听器提出三种封装结构，即采用聚氨酯材料制成的透声帽封装结构，透声帽内衬笼状支撑体的封装结构，透声帽内衬瓣状支撑体的封装结构。采用ANSYS有限元建立三维封装模型并进行模态仿真，得出其固有频率分别为875Hz、2926Hz、3006Hz。采用Virtual.lab acoustic进行声衰减仿真并通过试验验证最终得出：内衬支撑体的封装结构，其有效带宽响应比无支撑体的透声帽封...
针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备，存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点，本文提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜，无需沉积分立电极，易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联，避免了非活跃区的寄生电容。通过Ansys及Matlab...
MEMS高量程加速度传感器的动态特性分析
MEMS(微电子机械系统) 高量程加速度计 动态特性 霍普金森杆 镜像映射法
2014/4/23
利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准；采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理，求解出该传感器的幅频特性，绘制了对数幅频特性曲线；通过对比两种算法的结果知道，镜像映射法优于FFT算法，其算法简单有效，能直接辨识出系统模型参数和模型阶次。
MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化
RTD 力电耦合 偏压灵敏度 台阶效应
2014/4/23
论文中首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的“台阶区”，提高负阻区的阻值为-7.916 ，并通过加压测试RTD的力电耦合灵敏度，使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g，优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度，同时也通过增大RTD结构的台面积大小，有效的消除了负阻区的“台阶区”，并使其负阻区的阻值增大为-0.06 ，提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度。
MEMS陀螺的工艺特点决定了其零偏随温度呈现非线性变化的特点。针对工业现场实际应用环境温度变化范围大、分段补偿模型断点处不连贯和补偿温度范围小等问题，提出了一种新型的无需分段、全温度区间线性回归补偿模型；并且针对MEMS陀螺启动不稳定性因素对零偏造成的影响，改进的补偿模型可有效抑制陀螺上电时刻的零偏。经过实验验证：该模型补偿后的数据较陀螺原始数据零偏提高了将近3个数量级，从2.9027°/s 提高...