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宽幅智能激光SLM光刻设备HoloScanV是一款“大型激光光刻制版系统”，整版（800mmx610mm）制版时间仅4-17小时，适合于200um以上的微结构干涉图形制作。通过多光束与单光束互换功能，HoloScanV支持激光直写精密矢量化掩模图形，分辨率达210um。HoloScanV具有自主知识产权，拥有多项授权发明专利，3项软件著作权登记，江苏省优秀专利奖。HoloScanV的研制得到科技部...